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営業品目
★ スパッタ用パルス直流電源
★ PVD/CVD用バイアス電源
★ イオン窒化等プラズマ熱処理用電源
★ 特殊高圧電源設計製作
★ 各種電源・制御系設計製作
当社では、色々の分野で利用されているプラズマ発生用パルス電源を製作販売しております。
産業界の各種プラズマ装置を手掛け、薄膜関連装置・プラズマ熱処理装置・PVDおよびプラズマCVD等成膜の電源としてご利用いただける、色々な機種を取り揃えております。
またお客様の幅広いご要望にお答えしていますので、何卒お気楽にご相談下さい。
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