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| 会社案内 技術 |
真空ﾁｬﾝﾊﾞｰ 真空駆動 |
電子ﾋﾞｰﾑ装置 RHEED |
ｲｵﾝﾋﾞｰﾑ装置 ｲｵﾝ源 ｼﾝｸﾛﾄﾛﾝ |
成膜装置 | 高温炉 | 中性子発生管 地雷探査 |
接合・ﾛｰ付 膜付加工 |
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| ﾋﾞ ｰ ﾑ 精 工 の 技 術 の 概 要 |
第一線で活躍する研究者と町工場を結ぶエンジニアリング会社、ビーム精工は顧客の要望を的 確に把握し、モノづくりの中心地である大田区の真ん中に位置することで、特殊材料のマイクロ加 工等、特殊加工にも機敏に対応しています。技術とスピードで顧客満足を達成します。 |
| Ⅰ自社技術 1.設計・製作： 真空機器･真空加熱炉 電子･イオン･プラズマ装置 2.加工：溶接技術、接合技術 拡散接合技術 マイクロ加工技術 3.超高真空技術 真空封止技術 プラズマ成膜技術 4.超高電圧加速器技術 |
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| 小型加速管 アルミニウム製真空チャンバ 真空封止技術 密封型バルス中性子発生管の開発からの派生技術 で,銅管のみならずステンレス管の封止技術と,超高 真空を永遠に保持するゲッターを提供できます。 | ||||
Ⅱ 製品案内 真空装置 1.アルミニウム製 超高真空チャンバー 2.薄膜製造装置 3.基板加熱ヒーター 4.真空高温炉 電子・イオン機器 6.電子銃と電子線照射装置 7.イオン源と加速装置 8.中性子発生管 9.加速器の付属機器 |
この技術の採用により電子管等システムの小型化
と経済性の追求が可能になりました。 超高真空チャンバー アルミニウム,チタニウム製超高真空チャンバ ーはガス放出が小さく、ベーキングが容易です。 超高真空チャンバーの設計制作はノウハウを持ち 納入実績も多く自信のある技術です。 高電圧ｺﾝﾊﾟｸﾄ加速機構設計/制作技術 2MeV/mの電位勾配管の設計製作をします。 拡散接合技術 金属、セラミックスの拡散接合が可能です。 特に、リークタイトな拡散接合が当社の自慢です。 真空内5元移動機構技術 真空内5元移動機構を設計制作、AML製ステッピ ングモータの販売システム化をします。 |
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| AML（英国）製品 10.超高真空用 ステッピングモータ 11.リニアスライダーと 回転機構 12.高真空内多軸駆動機構 | 
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| AML社ステッピングモータを搭載したXYステージ | 中性子発生管 |
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| 専門技術 電子ﾋﾞｰﾑ ｲｵﾝﾋﾞｰﾑ 中性子発生管 |
超高真空技術 ターボ分子ポンプやクライオポンプ等の新しい製品も生まれ、大型加速器や核融合炉で10－8Paまで真空度が向上しています。ビーム精工の技術者はこれ等超高真空装置の設 計・製造にかかわってきました。 超高真空技術と右上に紹介したビーム精工の最先端技術を組み合わせて作成されたいくつかの製品の紹介をします。 |
電子銃と電子線照射装置 ・結晶構造の「その場観察」に使われるRHEEDのようにフォーカス・ビームから、加熱用の大電流フォーカス・ビームや線状ビームなど豊富な機種を用意し、各種の電子線照射装置に対応できます。 ・電子線を大気に取り出し、大気中で照射する方法 ・パルス電子ビームなどの機種も用意しております。 イオン発生装置 高周波イオン源、ヘリコン波イオン源、PIG型イオン源、デュオプラズマ型イオン源は製作経験が豊富です。これ等イオン源を搭載したイオン発生・加速装置を提供致します。 平面波プラズマイオン源を搭載して、数千ボルトに加速する大電流イオンビームによるイオン・ミーリング装置は好評を頂いております。 |
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高電位勾配加速管 の設計技術とセラミ ックスと金属のブレー ジング技術を提供できます。 | 差動排気型RHEED装置で4桁の 差動排気能力を持ち、ビームスポットは0.2mmφ、最高レベルの商品です。 |
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密封型パルス中性子発生管 中性子は電荷を持たないため物質に深く入り込み、軽い元素、特に水素 の多い水や窒素を含む物質に良く反応し、重たい物質に敏感に反応し、Ｘ 線とは違う目的に使われます。 中性子は原子炉や大型加速器或いはアイソ トープからしか発生しない故、中性子発生装置は大型になりますが、三宅 の開発した中性子発生管は重陽子に重陽子を衝突させ核融合反応で中性子 を発生させる、小型で強力でポータブルな中性子発生技術をゆうしています。 用途として、原子炉の実験データ取得や地雷探知用センサー、手荷物検査装置としての開発を進めています。 成膜装置 ｽﾊﾟｯﾀ装置やP-CVD装置など多数の設計・製作経験があり、ｽﾊﾟｯﾀはｱﾝﾊﾞﾗﾝｽﾄ型ﾏｸﾞﾈﾄﾛﾝや全面ｴﾛｰｼﾞｮﾝｶｿｰﾄﾞを設計製作いたします。 また、ｾﾗﾐｯｸを数μ/minでつける高速成膜装置もご提供できます。 |
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| 写真で見る技術概観 |
| 超高真空ﾁｬﾝﾊﾞｰ ﾁﾀﾝ箔の拡散接合 | ||||
| 1年間10の-7Pa保持 真空封じ切装置 |  |
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| ｱﾙﾐﾆｳﾑ製超高真空ﾁｬﾝﾊﾞｰ | ﾁﾀﾝ箔と銅の拡散接合 | |||
| 拡散接合 ｾﾗﾐｯｸの接合 超高真空装置 | ||||
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| 高電位勾配管とｾﾗﾐｯｸのﾛｰ付 | ｻﾌｧｲｱと銅の拡散接合 | ﾎﾟｰﾀﾌﾞﾙ極高真空装置 超高真空保持し持ち運び可能 |
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| 真空中駆動ｽﾃｯﾋﾟﾝｸﾞﾓｰﾀ ｺﾞﾆｵﾒｰﾀ | ||||
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| 真空駆動多軸ｺﾞﾆｵﾒｰﾀ | 真空駆動xyｽﾃｰｼﾞ | 真空中で動作するｽﾃｯﾋﾟﾝｸﾞﾓｰﾀ | ||
| 大型加速器 ｼﾝｸﾛﾄﾛﾝ周辺機器 ﾏｸﾞﾈｯﾄ設計・製作 | ||||
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| 珪素鋼板積層ﾏｸﾞﾈｯﾄ ｼﾝｸﾛﾄﾛﾝ用 |
ﾋﾞｰﾑ収束技術 | 大型装置の設計組立 | ||
| ﾏｯﾌﾙ式石英炉 高温真空炉 高周波加熱炉 | ||||
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| マッフル式石英ベルジャー炉 | 高温真空炉 1500℃ | 高周波加熱炉 | ||
| RHEED 差動排気型RHEED | ||||
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| RHEEDの像 | 差動排気型RHEED ｽﾊﾟｯﾀなどのその場観察用 |
RHEED | ||
| 電子ビーム ｺﾝﾊﾟｸﾄ蒸着用 15kW溶接用 表面改質用 ﾊﾞﾙｽ型大気取出し型 | ||||
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| 加熱・蒸着・ｱﾆｰル LEED用 |
15kW電子銃 電子ﾋﾞｰﾑ溶接用 |
均一電子照射銃 表面改質用 | ||
| プラズマ源 PIG型(1μsec立上3Aﾊﾟﾙｽ型) RFｲｵﾝ源 金属ｲｵﾝ源 | ||||
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| PIGﾌﾟﾗｽﾞﾏ源 1μs立上 10μsﾊﾟﾙｽ 3A/cm2電流 |
RFﾌﾟﾗｽﾞﾏ源 | 金属ﾌﾟﾗｽﾞﾏ源 | ||
| 成膜装置 ｲｵﾝﾐﾘﾝｸﾞ装置 中性子発生管 | ||||
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| ｾﾗﾐｯｸ高速成膜装置 ｼﾝｸﾛﾄﾛﾝ用 |
ｲｵﾝﾋﾞｰﾑﾐﾘﾝｸﾞ装置 | 中性子発生管 | ||
| ｽﾊﾟｯﾀ成膜装置 p-CVD装置 | ||||
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| ｽﾊﾟｯﾀ成膜装置 | P-CVD成膜装置 | |||
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