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多軸ゴニオメータ


ここでは、AML製品の概観を示します。

ビーム精工はAMLの日本での高度な技術サポート,輸入,真空ｼｽﾃﾑ設計を手がけてきました。

大気圧側より操作する方法に比べ
AMLの真空ｽﾃｯﾋﾟﾝｸﾞﾓｰﾀを用いた真空駆動は低コスト、高精度、簡単な操作性となり、
8軸までの真空用ゴニオメータを、ﾋﾞｰﾑ精工は提供できます。

ﾋﾞｰﾑ精工は、真空装置ﾒｰｶｰとして、AML装置を通じてお客様と出会う機会を大切にし、
AMLの販売を通じて真空装置の設計のお手伝いをさせていただくことを理想としています。


一般仕様　　　　ー　ゴニオメータおよびAMLステッピングモータ　ー

・　より高い信頼性、正確さ、精度及び、より長いストロークは、真空中駆動モータにより達成され、
　　多くの場合、大気側に設置する回転導入機よりも、精度、使いやすさ、安全性が改善されます。
　　AMLメカニズムは全て200℃でベーカブルです。
・　0.001°の回転精度及び1μm移送精度は容易に達成されます。反復精度とバックラッシュは可
　　能なレベルで調整することができます。より高い仕様も受けられますがコストとの兼ね合いで
　　す。精密な停止は全ての位置でできます。
・　サンプルの過熱・冷却に対応可能で、サンプル交換手段および挿入用ロードロック機構も供給
　　できます。真空内配線はコネクターで、コントローラーと付属品をそのまま使用できます。

　典型的な使用例 　　　　蒸着装置用の6軸ゴニオンメーター

　　　(上の写真で下中央)　4ケのサンプルが方向転換台に置かれます。スパッター位置は12時の方向にあり、PBNヒー
　　ターによって熱せられ、方向転換台の前に電動シャッタがあります。
　　　サンプルはコーティング位置でX、Yおよびチルト(サンプリング中心での角度)の調節ができます。正確さは0.001mm
　　/0.01°以内で、全体は270°回転し、3つのマグネトロンスパッターガンの位置に合わせられます。
AML社はイギリスのメーカーで、世界で最初に真空中で稼動するステッピングモータを開発した企業です。 技術力に定評がありこの分野のNo1企業としての地位を築いています。当社の前身は日本でのAML総販売代理店であり、長年の経験から複雑な組合せ設計／製作や技術相談/ﾒﾝﾃﾅﾝｽを提供できます。
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AMLｽﾃｯﾋﾟﾝｸﾞﾓｰﾀの特徴　／　超高真空ﾒｶﾄﾛﾆｸｽを実現する


　UHV真空用ステッピングモータはモータを直接真空の中に入れて駆動ができます。

　　　　　　大気側に取り付けた回転導入機や直線導入機を必要としない故、
ステッピングモータを大気中で使うのと同じ感覚で高精度な位置制御、速度制御ができ、

　面倒なフィードバック制御を必要とせず、精度、使いやすさ、安全性が改善されます。
特徴
 　1. アウトガスが少なく超高真空領域においても高トルクで連続運転のご使用ができます。
　2. ベーキング温度は200℃です。
　3. 真空チェンバーの外からの駆動機構は不要で直接真空中にモータを入れます故、システムがシンプルになり、
　　精度とコストで大きなメリットがあります。
　4. 低温（－１９６℃ ）～高温（ ＋１７５℃）の雰囲気でご使用になれます。
　5. 低速運転でのハーフステップ（SMD 1M）ができます。（ミニステップはオプション）
用途
　1. 半導体の製造装置　　　　2. 人口衛星のロボット　　　3. 表面分析
　4.　大規模加速装置　　　　　5.　放射光実験施設　　　　6.　薄膜製造装置
　7.　高温雰囲気駆動　　　　　8.　低温雰囲気駆動　　　　9.　その他
UHVステッピングモータの機種
　B14.1型：　　　 　最も小型で連続運転でき低価格。
　C17.1／2型：　　高速移送用に最適、小型で高トルク高速運転に適す。
　B23.1型：　　 　　連続運転、高出力で低ガス放出。
　SMD1、SMD1M、SMD2：　　　ステッピングモータ用ドライバー。
AML　真空ｽﾃｯﾋﾟﾝｸﾞﾓｰﾀと駆動機構の概要
ステッピング・モータ
B14.1型 C17.1型
C17.2型 B23.1型 		・14、17及び23型モータは在庫品です。
・より大きなモータは特注で製造できます。また在庫品の高いトルクのモータを出荷できます。
・回転軸やリード線の位置は容易に変更可能です。
ドライバーと
付属品		 ・SMD2は、プログラムの経験の無いユーザでもアクセスでき、用途が広く強力なコマンド構造を持っています。
・SMD1は低価格のドライバーです。
・モータの配線は、AML電線、導入端子、真空内用コネクター、付属品、コンポーネント・キットが用意され単純化されています。
リニアースライダー と
回転機構 		・負荷、精度、予算に対応できる商品を揃えています。
・負荷能力、分解能、バックラッシュ、繰り返し精度等は外部操作のマニュピュレータ方式に比べ良好なデータが得られています。
・精密な停止は精密な位置決めを意味し、高い分解能であることの証明です。
UHV多軸駆動機構 ・駆動機構は標準の部品を使って組立てます。
・機械的なフィードスルーに比べて正確、軸の分離が容易、長いストローク、自動化が容易等の特徴があります。
・又多軸になる程信頼性が増し有利になります。常に特注設計を承っており、新しい用途に適応される準備ができています。
UHV用部品 ・ポリイミド電線、ベアリング、駆動軸、座金、カラー、ギヤー、導入端子、ボルト及びナット、熱電対、コネクター等は超高真空に使用のために清潔で、且つ少量でパックされています。
・AMLモータの購入者のみならずセラミックス部品やプラスチック部品は、超高真空内の配線に応用に利用できます。
　
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超高真空用ステッピングモーター　[B17.1型]

AMLｽﾃｯﾋﾟﾝｸﾞﾓｰﾀの一例

　　・本機は[B17.1型]と同じ寸法で、約2倍の出力トルクを持つ、超高真空用ステッピングモーター
　　　です。
　　・超高真空中での、高トルク運転で、ガス放出が極めて少なく、
　　・ビーム・チョッピングやサンプルの高速移動に適しています。


　　〈特長〉

　　　◆非常に高トルクで[B14.1型]に置き換えて使用できます。放出ガスも殆ど同じです。
　　　◆電気の絶縁材は放出ガスが少なく絶縁の良いポリイミドとPEEKが使われています。
　　　◆ベーキングでフリクションがない長寿命のセラミックベアリングを使用しています。
　　　◆[MLF１２型]ベーカブルフィードスルー（ICF70）で配線を大気側に取り出せます。
　　　◆熱特性、放出ガス特性向上のため、表面エッチング後、黒色ﾀﾞｲｱﾓﾝﾄﾞﾗｲｸ膜のｺｰ
　　　　ﾃｨﾝｸﾞ処理が施されています。
　　　◆[SMD２]コントローラーで、真空中で連続運転が出来ます。
　　　◆１×１０－１０ｍB以下の超高真空に対応できます。
　　　◆ベーキング温度は200℃。　　　　　　　　◆-196℃で使用できます。
　　　◆耐放射線用のバージョンも可能です。　◆試料の高速移送に適しています80mNm
　　　◆内部空間は全てガス抜き構造となります。
　　　◆金属の擦動部が無いためパーティクルの発生は極めて少ない。

 
〈仕様〉

　　・ステップ角度　　　 　：　1.8°
　　・ベーキング温度　　　 ：　200℃
　　・相インダクタンス　　 ：　5.75ｍH
　　・保持トルク（２相,1A）：　80ｍNｍ
　　・ローターイナーシャ　 ：　18ｇｃ㎡


　　
　　・相抵抗　　　　　　：　4Ω
　　・相インダクタンス　：　5.75ｍH
　　・デタントトルク　  ：　５ｍNｍ
　　・重量　　　　　　  ：　165ｇ
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