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RHEED　反射高速電子回折
結晶構造を｢その場｣で観察

　電子は質量や電荷を持つ粒子と考えられていますが ナノ の世界では 波 として説明されます。
電子を物質に照射すると反射される電子は音波や電磁波と同じように、障害物の後ろに回り込 む波に特有の回折現象をおこします。
　結晶に特定の方向から電子を照射すると原子により電子が反射され電子の波が共鳴し、局所 的に明るい点や線が見えます。この反射像を解析することで、結晶の形,原子の配列、結晶を構 成する原子間の距離等が判明し、半導体や超電導物質或いは機能性材料の開発に貢献してい ます。RHEEDは結晶成長させながら結晶構造をリアルタイムで観察できます。


　　　RHEEDは
　　　1）回折パターンが明るい。
　　　2）回折パターンが鋭く精度が高い。
　　　3）高温状態でも観察できる。
　　　4）磁場の影響が小さい。
　　　5）広い範囲に逆格子の測定が可能である。
　　　6）表面上に成長した3次元的な微結晶の研究ができる。
　　　　　井野、大門物理実験2　表面物性
RHEEDと特性X線全反射分光技術
RHEEDの用途
　RHEEDは固体表面の原子配列構造や吸着,成長、脱離過程など、表面及び界面等の分析に極めて有力で便利な手段です。

「その場観察」のための差動排気
　結晶構造その場観察装置としてRHEEDが今日の形になり使い易くなったのは1970年代に井野先生が東北大学金研 で試作されたのが始まりで真空技術の発達や分子線エピタキシーの普及と共に使い易
く小型化されました。 この10年間はスパッター装置等を使った薄膜作りが普及し、それに連れてRHEEDも1Pa程度の低真空での要望が増えてまいりました。
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ﾋﾞｰﾑ精工のRHEED装置
RHEED装置　RHG－3400
　当社のRHEEDシステムは1980年代の後半から井野・大門教授の指導で生産を始めて今日まで130台を超える製品を表面物理の研究者にご使用頂いています。
　“真円の電子ビームを直径0.4ｍｍまで収束し小型で使い安さ”のコンセプトの基に技術革新を続けてまいりました結果RH－3400型に到達いたしました。
　RH－3400型は電子ビームの明るさ、ビーム・スポット形状、ビーム調整の容易さ、システムの小型化、メンテナンスの容易さ等RHEEDに要求される事項を完璧にクリアーした商品です

差動排気型RHG－3400SH
　RHG－3400SH型差動排気型RHEED装置は80㍑／秒のターボ分子ポンプで4桁の真空差圧を実現しています。 この数値は世界トップレベルの技術でスッパー装置での薄膜観察用のRHEEDが実現しました。 RHG－3400SH型はRHG－3400型の特徴をそっくり保ち4桁の差動排気能力を付加したものです。
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RHEEDシステム　反射高速電子回折装置　RHG3400型　


　　　　　RHP-3400型は
　　　　RHEEDを観察しながら
　　　　　ビームの強さ、
　　　　　スポット、
　　　　　X－Yスイープを
　　　　制御できます。
　　　　出力電圧　：－30ｋV
　　　　リモート・ボックスによる制御
　　　　寸法：480W×150H×500D　
　　　　重量：:約20ｋｇ
　　　　特徴

　　　1.　明るくシャープで安定な電子ビーム
　　　2.　ビーム径　：0.2ｍｍ
　　　3.　大きな焦点深度で真円のビーム
　　　4.　超高真空対応　：200℃ベーカブル
　　　5.　極めてコンパクト　：Φ100×300
　　　6.　取付、ビーム調整、メンテナンスが簡単
　　　7.　取付けフランジはICF70FH
差動排気型　RHＧ-3400SH型

RHG－3400型の特徴をそっくり保ち、4桁の差動排気能力を付加したものです。

　RHEED制御装置　　　RHP－3400型

　　RHG－3400型と共通に使えるRHEED制御装置で
　　高電圧のインターロック機構が完備した
　　コンパクトな制御装置です。
　　　○ 加速電圧　　　：－30ｋV
　　　○ 制御　　　　　：フィラメント
　　　　　　　　　　　　　　ヴェネルト
　　　　　　　　　　　　　　X－Y偏向
　　　　　　　　　　　　　　収束
　　　○ 重量　　　　　：約20ｋｇ
　　　○ 寸法　　　　　：150H×480W×500D
　　　○ 高圧ケーブル　：7ｍ

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