会社案内 技術

真空ﾁｬﾝﾊﾞｰ 真空駆動

電子ﾋﾞｰﾑ装置 RHEED

ｲｵﾝﾋﾞｰﾑ装置 ｲｵﾝ源　ｼﾝｸﾛﾄﾛﾝ

成膜装置

高温炉

中性子発生管 地雷探査

接合・ﾛｰ付 膜付加工

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ビーム精工の真空技術　　�T.超高真空　�U.真空内駆動　�V.真空封止

ビーム精工は、 　　　�T.電子ビーム用のフィラメント、イオンや電子ビーム用のプラズマ源、 　　　�U.それらを組み込んだビーム装置、 　　　�V.プラズマを用いたスパッタやCVD装置、 　　　�W.大型加速器周辺機器の設計製作 を中心にした技術力を誇る会社です。 これら技術の基礎には、真空と機械要素についての独自技術があります。 独自技術とは、 　　　A.超高真空技術、 　　　B.真空封止技術、そして 　　　C.真空内駆動ステッピングモータによる5軸ゴニオメータの組立て技術です。

イギリスの真空駆動技術の先進的メーカーAML社の代理店として、技術の総元締めをしておりますが、ビーム独自の5軸ゴニオメーターなどの設計製作をコンパクトに低廉な価格で提供可能です。ご相談ください。

3種のうち、接合・ﾛｰ付や真空駆動は各項目を参照してください。

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ビーム精工の極高真空　真空封止技術

	ﾋﾞｰﾑ精工は、超高真空に関して他社にない、特殊な4個の要素技術を持っています。「電解研磨」「セラミックのロー付」は、すでに標準技術に近くなっていますが、 歪みの少ない接合を実現する拡散接合はまだ真空メーカーとしては比較的珍しいでしょう。 　特に、「Heリークタイトな薄膜」や「ポンプレスで１年間超高真空を維持する技術」はﾋﾞｰﾑ精工以外は、少なくとも日本では見当たらないと自負しています。両方の技術を持っているのはﾋﾞｰﾑ精工だけではないでしょうか。
	真空チャンバーについてのﾋﾞｰﾑ精工の技術 　　　　　　　　　　　　�T.電解研磨による　　　　　超高真空達成(10の-8Pa)、 　　　　　　　　　　　　�U.セラミックと金属のロー付　や　拡散接合、 　　　　　　　　　　　　�V.電子線を大気にまで透過させる　Heリークタイトな薄膜と 　　　　　　　　　　　　　　　　　この薄膜の金属などへの接合技術 　　　　　　　　　　　　�W.ポンプレスで10の-7Pa台を１年間維持する封止技術
	ポンプレスで1年間10の-7Pa台維持し、電子を大気に取り出し可能な技術はいろいろな応用分野が可能でしょう。 開発の要請があり、しばらくして新聞発表でこういう目的だったのかということはよくあることです。また共同研究をするために秘密保持契約も可能です。ビーム精工までご相談ください。お待ちしております。

	接合・ロー付の受託加工については、接合・ロー付の項目も参照してください。
	セラミックのロー付や、拡散接合はともかく、電子ビーム透過可能な薄膜については、当社の基幹技術の一つであるため、お客様の製品や応用分野の当社への開示はまったく必要ありませんが、長期供給契約をお願い出来れば幸いです。

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真空チャンバー設計・製作

超高真空、極超高真空対応チャンバー　　ステンレス・アルミニウム・チタン・鉄・銅

アルミニウム製超高真空チャンバー　　　 　溶接技術と洗浄技術の進歩によりアルミニウム製の真空チャンバーが普及しつつあります。 　アルミニウム材料を用いた真空チャンバーはステンレス製に比べて、軽くて、放出ガスが少なく、ベーキングは熱伝導が良いので均一な温度分布で少ないパワーですみます。 　さらに、特に、腐食ガスへの耐性がありエッチングなどの用途に最適です。

軽さが要求されるアルミ製高圧容器　 銅製の超高真空チャンバー クライストロンや空洞共振器に使われています。 電子顕微鏡用鉄製真空チャンバー

大型のアルミニウム製超高真空チャンバーは軽くて 均熱のベーキングができます。 耐腐食性エッチング用途にも適します。　 ポータブル極高真空装置　 奈良先端大学院大学　大門研究室納入 特徴：　ポータブルなステンレス製極高真空システムで、 研究室で十分な準備をしてから大型照射装置に持ち込んで照射実験後、超高真空状態を保持したまま自分の研究室に持ち帰り評価ができます。 ロードロック、エピタキシー、RHEED、REED等で構築され薄膜製造と評価ができます。

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