電子プローブマイクロアナライザ（EPMA）
試料表面に電子線を照射すると、元素固有の特性X線を生じ、これで構成元素を調べるもの。WDS（波長分散型）は分光結晶を用いて検出する。軽元素から重元素まで元素分析が可能。照射電流が高く、分析能力は高いが解像度は低い。EDS（エネルギー分散型）は、半導体検出器を用いて検出する。照射電流が低く、分析能力は低いが解像度は高い。非常に便利な測定器です。
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